通过定制振动解决方案支持原始设备制造商

2025-07-15

非球面光学在高科技中发挥着关键作用,确保其精度需要先进的制造和振动控制技术。

非球面光学元件广泛应用于现代光学系统,包括 AR/VR 耳机、监控系统和半导体应用,以减小尺寸、重量和成本。

为了达到所需的性能水平,需要对光学元件的加工和计量进行严格控制。

为了制造精密球体,所使用的工业仪器之一是单点金刚石车床,例如新罕布什尔州基恩的 Precitech 制造的车床。

Precitech 竭尽全力控制环境条件,以防止干扰高质量组件的生产。这包括热漂移和地面振动等特性。

Precitech 使用 TMC 隔离器来确保其仪器的最佳性能,防止地板振动干扰结果。

同样,在测试这些光学元件时,ZYGO 也使用 TMC 隔振系统。ZYGO 使用万向活塞气动隔振器作为其新型Verifire ™ Asphere+干涉仪的 TMC 解决方案。

他们的隔离系统是在马萨诸塞州皮博迪的 TMC 垂直整合制造总部设计和制造的。

图片描述

通过定制振动解决方案支持原始设备制造商

Verifire ™ Asphere+ 计量仪器可测量非球面光学元件的设计和表面形状偏差。该系统配备高分辨率斐索干涉仪(用于表面表征)和线性位移干涉仪(用于精确监控组件平台的 Z 轴运动)。

Verifire ™ Asphere+ 凭借其干涉测量技术与稳定平台的结合,能够在生产现场提供精准的计量。这使得用户无需前往计量实验室,即可在不中断生产流程的情况下获得即时反馈。

TMC 专门为此目的设计了 Verifire Asphere+ 隔振系统。

该系统有四个支腿,以提供最大的稳定性。然而,由于系统前部必须方便装卸部件,因此隔振系统的上半部分只有三个支撑。

这种设计使得系统前端易于操作。此外,这种设计可以降低重心,从而提高隔振效果。

通过定制振动解决方案支持原始设备制造商

Verifire Asphere+ 的每个气动支腿都有一个由机械控制阀控制的浮动高度。

TMC 设计了支撑结构,将其连接到机器高处的 Verifire Asphere+,从而降低其重心并提高系统的整体稳定性和隔振性能。

隔振平台的另一个重要特征是配有脚轮和调平脚。

虽然这些看似无关紧要的功能,但它们在系统移动和稳定性方面发挥着重要作用。可以先部署脚轮,将系统转移到预定位置,从而无需使用叉车。

到达最终位置后,使用调平脚来平衡地面的任何不平整。脚轮被向上推,使其不再接触地面。

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