导语
继VCSEL、APD、SPAD核心器件介绍完后,今天我们聚焦激光雷达接收端的黑科技器件——SiPM(硅光电倍增管)。
在激光雷达接收端赛道,PIN、APD、SPAD、SiPM 四大探测器路线长期并行演进。APD 凭借成熟度占据车载激光雷达主流市场,而SiPM(硅光电倍增管,Silicon Photomultiplier)作为 SPAD 阵列化模拟输出方案,凭借远超APD的灵敏度、更低的工作电压、更强的抗干扰能力、易集成封装等优势,正在快速替代传统光电探测器,成为弱光单光子探测的核心主力。
本文从原理架构、核心构成、多场景落地应用、海内外主流厂商四大维度,系统梳理 SiPM 技术全貌,便于雷达硬件研发与供应链选型参考。

图1 SiPM
SiPM核心工作原理
核心定义:
SiPM = SPAD 微单元(microcell)阵列 + 淬灭电阻 + 求和读出电路——三者在同一片 CMOS/SiGe 工艺硅片上集成。
一句话理解:
把 100 颗、1000 颗 SPAD 像"马赛克"一样集成在同一颗芯片上,每颗 SPAD 独立工作,共同输出一个模拟电流。
其工作流程分为3大核心步骤:
1. 光电转换(信号源头)
905nm/940nm激光回波光子入射硅衬底,通过光电效应产生电子-空穴对,将光信号转化为微弱电信号,这是光电探测的基础。
2. 盖革雪崩倍增(超高增益核心)
SiPM工作在过击穿电压状态,内部形成超强电场。单个光生电子会触发雪崩电离,瞬间产生海量载流子,器件增益可达10⁵~10⁶,是传统APD的1000倍以上,足以捕捉极远距离的微弱单光子回波。
3. 淬灭复位(持续工作保障)
每个像素串联独立淬灭电阻——这是 SiPM 工作必须的元件。雪崩产生大电流时,电阻压降会拉低像素电压,强制终止雪崩,避免器件烧毁。随后电路自动充电复位,准备下一次探测,实现连续工作。

核心优势亮点:所有微像素共用一路输出总线,最终输出模拟脉冲信号幅度与被光子触发的像素数量成正比(注意:SiPM 输出是模拟信号——不是数字脉冲),具备精准光子数分辨能力,电路架构简单,无需复杂数字计数电路,集成难度远低于纯SPAD阵列;多光子同时入射不同像素,信号线性叠加,实现弱光强度量化,这也是 SiPM 区别于单像素 SPAD 的关键特性。
🔍与 APD、SPAD 核心差异
APD
单体 SPAD
SiPM

图2 SiPM的等效电路原理图
前面我在《深度解析激光探测器SPAD:单光子级探测的原理与核心性能指标》一文中指出SPAD是“单光子探测器”, 适合"有没有光子";而SiPM 适合"有多少光子"。前者是单光子识别,后者是光子计数。二者互补适配不同激光探测场景。

图3 SiPM与SPAD差异对比
SiPM核心构成与关键参数
SiPM 整体分为芯片晶圆层、封装结构层、外围电路层三级架构,也是决定器件性能的核心关键:
1. 基础单元:微像素(SPAD+淬灭电阻)
像素是SiPM的最小探测单元,主流分为两种工艺:
✅ 外延型电阻:成本低、填充因子高,适合通用场景;
✅ 深沟槽隔离型:像素间串扰极低、噪声更小,是车规激光雷达专用工艺。
2. 核心芯片:阵列晶圆层
由数百至数万个微像素矩阵排布而成,主流感光面积1×1mm~6×6mm,像素尺寸25μm/35μm/50μm。像素尺寸越小,动态范围越大,探测精度越高。数量越多 → 总探测面积越大 → 动态范围越大。
3. 封装与外围电路
支持COB裸片、TO金属、陶瓷多种封装,仅需25~80V低压供电,对比传统PMT光电倍增管上千伏高压,功耗、体积、BOM成本优势极大,搭配TIA跨阻放大器即可完成信号采集。
芯片关键性能指标:
串扰决定空间分辨率——串扰越低,PET 图像越清晰。
后脉冲决定能量分辨率——后脉冲越低,能量测得越准。

图4 四大探测器形态对比
SiPM主流应用场景
凭借单光子超高灵敏度、低压、抗磁干扰、易集成的特性,SiPM已实现多领域规模化落地:
作为远距离雷达接收核心,可实现200m+超远探测,对黑色路面、行人、低反射障碍物识别能力优异,广泛应用于自动驾驶主雷达、AGV工业避障、无人机测距,是905nm雷达高端路线核心器件。
PET 正电子发射断层扫描仪、SPECT 核医学影像,利用闪烁晶体将 γ 射线转为可见光,SiPM 替代传统 PMT 读取光信号;优势是抗核磁共振强磁场干扰、体积微型化、设备轻量化,是高端医疗影像国产化核心器件。
粒子对撞机探测器、宇宙射线监测、空间天文弱光观测,在低温环境下极低暗计数,适合深空单光子微弱信号捕捉。
激光测距仪、激光测速、光纤传感、辐射剂量探测,在手持测距、周界安防激光探测领域批量替代老旧 PMT 器件。

图5 SiPM激光雷达的TOF系统框图
国内外主流代表厂商

图6 浙江睿熙VCSEL+灵明光子SiPM应用
技术总结与行业趋势
SiPM 不是 SPAD 的"替代品",而是 SPAD 的"工程化升级"。下一轮单光子探测的角力场,已经不在"谁能做 SPAD"——而是"谁能做高 PDE、低 DCR、低 Crosstalk、低 Jitter"四高的 SiPM。
国产的机会,就在这"四高"里。