单光子探测王者SiPM深度解析:激光雷达核心接收器件全维度拆解

2026-07-22

导语


VCSEL、APD、SPAD核心器件介绍完后,今天我们聚焦激光雷达接收端的黑科技器件——SiPM(硅光电倍增管)


在激光雷达接收端赛道,PIN、APD、SPAD、SiPM 四大探测器路线长期并行演进。APD 凭借成熟度占据车载激光雷达主流市场,而SiPM(硅光电倍增管,Silicon Photomultiplier)作为 SPAD 阵列化模拟输出方案,凭借远超APD的灵敏度、更低的工作电压、更强的抗干扰能力、易集成封装等优势,正在快速替代传统光电探测器,成为弱光单光子探测的核心主力。


本文从原理架构、核心构成、多场景落地应用、海内外主流厂商四大维度,系统梳理 SiPM 技术全貌,便于雷达硬件研发与供应链选型参考。



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图1 SiPM


SiPM核心工作原理


SiPM全称硅光电倍增管,是大规模SPAD阵列集成的固态半导体探测器。简单理解:它是由成千上万个微型SPAD像素并联而成,兼具SPAD的超高灵敏度和模拟器件的信号稳定性,完美适配单光子级微弱信号探测。

核心定义

SiPM = SPAD 微单元(microcell)阵列 + 淬灭电阻 + 求和读出电路——三者在同一片 CMOS/SiGe 工艺硅片上集成


一句话理解

把 100 颗、1000 颗 SPAD 像"马赛克"一样集成在同一颗芯片上,每颗   SPAD 独立工作,共同输出一个模拟电流。



其工作流程分为3大核心步骤:


1. 光电转换(信号源头)

905nm/940nm激光回波光子入射硅衬底,通过光电效应产生电子-空穴对,将光信号转化为微弱电信号,这是光电探测的基础。


2. 盖革雪崩倍增(超高增益核心)

SiPM工作在过击穿电压状态,内部形成超强电场。单个光生电子会触发雪崩电离,瞬间产生海量载流子,器件增益可达10⁵~10⁶,是传统APD的1000倍以上,足以捕捉极远距离的微弱单光子回波。


3. 淬灭复位(持续工作保障)

每个像素串联独立淬灭电阻——这是 SiPM 工作必须的元件。雪崩产生大电流时,电阻压降会拉低像素电压,强制终止雪崩,避免器件烧毁。随后电路自动充电复位,准备下一次探测,实现连续工作。


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核心优势亮点所有微像素共用一路输出总线,最终输出模拟脉冲信号幅度与被光子触发的像素数量成正比(注意:SiPM 输出是模拟信号——不是数字脉冲),具备精准光子数分辨能力电路架构简单,无需复杂数字计数电路,集成难度远低于纯SPAD阵列多光子同时入射不同像素,信号线性叠加,实现弱光强度量化这也是 SiPM 区别于单像素 SPAD 的关键特性。


🔍与 APD、SPAD 核心差异

  • APD

    线性雪崩模式,电压低于击穿电压,增益有限,适合中近距离、强背景光场景;


  • 单体 SPAD

    单像素盖革器件,单光子触发后输出数字脉冲,需搭配 TDC 做时间计数;


  • SiPM

    SPAD 大规模并联阵列,模拟信号汇总输出,无需逐像素数字电路,前端 TIA 放大即可读取,系统电路复杂度更低。


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图2 SiPM的等效电路原理图


前面我在《深度解析激光探测器SPAD:单光子级探测的原理与核心性能指标》一文中指出SPAD是“单光子探测器”, 适合"有没有光子";而SiPM 适合"有多少光子"。前者是单光子识别,后者是光子计数。二者互补适配不同激光探测场景。


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图3 SiPM与SPAD差异对比



SiPM核心构成与关键参数


SiPM 整体分为芯片晶圆层、封装结构层、外围电路层三级架构,也是决定器件性能的核心关键:


1. 基础单元:微像素(SPAD+淬灭电阻)

像素是SiPM的最小探测单元,主流分为两种工艺:

✅ 外延型电阻:成本低、填充因子高,适合通用场景;

✅ 深沟槽隔离型:像素间串扰极低、噪声更小,车规激光雷达专用工艺


2. 核心芯片:阵列晶圆层

由数百至数万个微像素矩阵排布而成,主流感光面积1×1mm~6×6mm,像素尺寸25μm/35μm/50μm。像素尺寸越小,动态范围越大,探测精度越高。数量越多 → 总探测面积越大 → 动态范围越大


3. 封装与外围电路

支持COB裸片、TO金属、陶瓷多种封装,仅需25~80V低压供电,对比传统PMT光电倍增管上千伏高压,功耗、体积、BOM成本优势极大,搭配TIA跨阻放大器即可完成信号采集。


芯片关键性能指标

  • PDE 光子探测效率:905nm 波段典型 30%~45%。PDE 决定探测距离上限——PDE 越高,LiDAR 看得越远

  • DCR 暗计数率:无光照下误触发频次,决定雷达底噪。DCR 决定弱光探测信噪比——DCR 越低,弱光下看得越清楚

  • 串扰概率、后脉冲概率:直接影响点云信噪比。

    串扰决定空间分辨率——串扰越低,PET 图像越清晰

    后脉冲决定能量分辨率——后脉冲越低,能量测得越准


  • 温度系数:硅基器件暗计数随温升指数上升,车载方案必须配套温控补偿电路。

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图4 四大探测器形态对比


SiPM主流应用场景


凭借单光子超高灵敏度、低压、抗磁干扰、易集成的特性,SiPM已实现多领域规模化落地:


1. 车载 & 工业 dToF 激光雷达(核心增量市场)

作为远距离雷达接收核心,可实现200m+超远探测,对黑色路面、行人、低反射障碍物识别能力优异,广泛应用于自动驾驶主雷达、AGV工业避障、无人机测距,是905nm雷达高端路线核心器件。


2. 医疗影像设备

PET 正电子发射断层扫描仪、SPECT 核医学影像,利用闪烁晶体将 γ 射线转为可见光,SiPM 替代传统 PMT 读取光信号;优势是抗核磁共振强磁场干扰、体积微型化、设备轻量化,是高端医疗影像国产化核心器件。


3. 高能物理与天文探测

粒子对撞机探测器、宇宙射线监测、空间天文弱光观测,在低温环境下极低暗计数,适合深空单光子微弱信号捕捉。


4. 安防与测距传感

激光测距仪、激光测速、光纤传感、辐射剂量探测,在手持测距、周界安防激光探测领域批量替代老旧 PMT 器件。


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图5 SiPM激光雷达的TOF系统框图


国内外主流代表厂商


海外龙头厂商主要有:

1. 安森美 onsemi
全球 SiPM 市占率第一,车规级产品成熟度最高,是多家头部激光雷达厂商定点供应商;覆盖 TOF 雷达、医疗、工业全品类,支持定制大面阵阵列 SiPM,串扰与温漂控制行业标杆。

2. 滨松 Hamamatsu(日本)
最早商用化 SiPM,科研、医疗领域份额绝对领先,产品线细分极全,从紫外到近红外多光谱版本齐全,缺点车规工业化迭代速度慢于安森美。

3. KETEK(德国)
深耕粒子物理与高能探测 SiPM,深沟槽隔离工艺专利优势明显,低暗计数、低串扰特性突出,高端科研设备核心供应商。

国内本土厂商主要有:

1. 灵明光子
国内 SPAD/SiPM 赛道头部企业,车规级 SiPM 通过严苛可靠性认证,配套国内速腾、禾赛、镭神等激光雷达企业,实现发射 VCSEL + 接收 SiPM 全套国产接收方案。

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图6 浙江睿熙VCSEL+灵明光子SiPM应用


2. 锐光科技(JoinBon)
国内较早实现 SiPM 量产的厂商,主打工业测距、医疗 PET 方向,标准化 TO 封装 SiPM 型号丰富,性价比优势明显,中小批量供应链灵活度高。

3. 中科微光、芯视界微电子
依托中科院微电子所技术孵化,聚焦单光子探测芯片,SiPM 裸片与 COB 封装方案成熟,多用于光纤传感、安防测距场景,逐步切入车载雷达供应链。

4. 华卓精科、长光华芯、阜时科技
依托半导体晶圆代工能力,开放 SiPM 流片工艺,面向雷达设计公司提供定制化流片代工服务,完善上游制造环节国产化。


技术总结与行业趋势


SiPM 作为介于 APD 与全数字 SPAD 阵列之间的折中路线,兼顾超高探测灵敏度前端电路简易性。在车载激光雷达国产化浪潮下,SiPM 接收芯片将逐步打破海外厂商垄断,成为 905nm 远距离 dToF 雷达三大主流接收方案之一。


SiPM 不是 SPAD 的"替代品"而是 SPAD 的"工程化升级"下一轮单光子探测的角力场,已经不在"谁能做 SPAD"——而是"谁能做高 PDE、低 DCR、低 Crosstalk、低 Jitter"四高的 SiPM

国产的机会,就在这"四高"里


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