CW激光器概述

2026-09-17
激光器是一种精密的光电转换装置。将无序泵浦能量,通过受激辐射、粒子数反转核心机制,转化为具有高度有序性(单色性、相干性、方向性)的相干电磁辐射(激光束)。依赖三大核心组件协同:泵浦源负责提供能量,增益介质实现粒子数反转与受激辐射,光学谐振腔则完成光的放大、筛选并输出稳定激光。
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🔵半导体激光器具有电光转换效率高、体积小、可靠性强、寿命长、波长覆盖广、调制速率高等核心优势,可将电能高效转化为不同能量的光子,根据光子类型,可分为信息光子和能量光子。信息光子激光器应用领域主要有光通信、硅光芯片、激光雷达与探测器等。目前硅光芯片借助成熟的CMOS工艺,显著提升光模块集成度,成为驱动光互联产业链发展的关键引擎。
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按谐振腔制造方向与芯片表面的关系,激光芯片主要分为边发射(EEL)和面发射(VCSEL)两大类。其中,边发射激光芯片(含 FP、DFB 和 EML 芯片)通过芯片两侧镀光学膜形成谐振腔,激光平行于衬底表面发射,基于磷化铟(InP)材料体系,输出功率与电光效率更高。面发射激光芯片 VCSEL 为代表,在芯片上下两面镀光学膜,借助与衬底垂直的谐振腔实现垂直出光,基于砷化镓(GaAs)材料体系,具备低阈值电流、易二维集成、制造成本低等优势,但输出功率和电光效率低于前者。依据材料体系、物理结构及调制方式的差异,主要划分为 VCSEL、FP、DFB、EML、CW 五大主流品类,在数据速率、出光结构、工作波长及性能特性上形成差异化布局。
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分立式光模块采用 EML 芯片,将 DFB 激光器与 EAM(电吸收调制器)进行单片集成,在单颗芯片上同步实现发光与调制功能。硅光模块用 CW 光源,以大功率 DFB 激光器作为独立外置光源,单独配置在 PIC 之外,输出的连续光通过波导结构导入 PIC,由硅光平台上的调制器完成信号调制。
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CW激光器芯片设计阶段,有源区材料体系对激光器性能起决定性作用。目前有两种主流有源区材料:InGaAlAs(铝镓铟砷)和 InGaAsP(铟镓砷磷)。激光器芯片企业主要采用 IDM 垂直整合制造模式,覆盖研发、晶圆制造、芯片加工、封装及测试等。晶圆制造主要技术门槛:1)有源区外延工艺;2)光栅工艺;3)光波导制作;4)金属化工艺。 芯片加工及测试主要技术门槛:1)端面镀膜;2)自动化芯片测试;3)芯片高频测试;4)可靠性验证测试。
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